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本CMP 拋光機是一款全自動的科研級 CMP 系統(tǒng),干進干出,可兼容 4 寸,6 寸,8 寸拋光區(qū)。對標美國AMAT的CMP拋光機。
本CMP 拋光機是一款全自動的科研級 CMP 系統(tǒng),最大8寸晶圓,可向下兼容;
干進干出,根據(jù)需要可定制2區(qū)或3區(qū)、4區(qū)拋光頭;
拋光盤具有水冷功能,能精確控制盤溫;
設定拋光工作時間,到點自動停機。
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