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AFTEX-8000系列成膜設備

使用高活性高密度ECR（電子回旋共振）等離子體源，通過在等離子體引出部配置目標，實現(xiàn)基于固體源的ECR等離子體成膜。因為不需要使用CVD那樣危險的氣體，所以不需要排氣處理，是對地球環(huán)境友好的成膜技術。